Inngangur
HD100Rhálfleiðara seguldælaer faglegur flutningsbúnaður sem er sérsniðinn-fyrir hálfleiðaraiðnaðinn. Með innsiglilausri segulmagnaðir drifbyggingu skilar það engri leka og engri ytri mengun meðan á notkun stendur og uppfyllir að fullu-þarfa hreinlætiskröfur hálfleiðaraverkstæða.
Blautir hlutar þessarar PTFE-seguldælu fyrir hálfleiðara eru gerðir úr há-hreinleika PTFE, sem þolir ýmis mjög ætandi hálfleiðaraefni án jónaútfellingar eða miðlungs gegndræpis. Það flytur á öruggan hátt sérstök efni eins og ætarlausnir, hreinsilausnir og hvarfefni með miklum -hreinleika. Innbyggt dautt-rými-laus dæluhús með há-gljáandi yfirborði gerir ítarlega hreinsun kleift og kemur á áhrifaríkan hátt í veg fyrir miðlungs leifar og kross-mengun. Sem áreiðanleg seguldæla fyrir hálfleiðaraefni gengur hún stöðugt með litlum titringi og styður 24-stunda samfellda notkun. Mikið notað í oblátaframleiðslu, flísumbúðum og hálfleiðara blautum ferlum, það þjónar sem kjarnabúnaður til að flytja ætandi háhrein efni í hálfleiðarageiranum.
Uppbyggingarkerfi vöru
Tæknileg færibreyta
|
Fyrirmynd |
Tube tengi |
Spiral tengiR-M RX-MRZ-M |
Hámarksgeta (L/mín.) |
Hámarkshöfuð(m) |
Sérþyngd |
Mótor |
Þyngd (kg) |
|||
|
Inntak (mm) |
Úttak (mm) |
Inntak/úttak |
Stærð tengi (mm) |
50Hz/60Hz |
50Hz/60Hz |
Úttak(w) 50Hz/60Hz |
Áfangi |
|||
|
HD100R |
26 |
26 |
G1 |
20 |
120/135 |
8.6/11.9 |
1.2 |
260/265 |
1 eða 3 |
8.1 |
Performance Curve
Helstu kostir
1. Samþætt mótað PTFE með mikla-hreinleika með framúrskarandi tæringarþol
Blautir hlutar þessarar PTFE-seguldælu fyrir hálfleiðara eru samþjappaðir-mótaðir með þykkt há-hreinleika PTFE. Í samanburði við hefðbundnar PTFE dælur, sem eru skeyttar, hefur hún verulega bætt viðnám gegn gegndræpi mjög ætandi efna og meiri þrýstingsþol. Það á að fullu við fyrir-langtíma afhendingu á há-þéttni ætingarlausnum og strípurum fyrir hálfleiðara og kemur í veg fyrir aflögun efnis, bungu og jónaútfellingu.
2. Mikil-flæðisuppbygging fyrir stöðuga afhendingu
Sérsniðna há-vökvaeiningin er hönnuð fyrir massa-framleiðsluhálfleiðaralínur. Það býður upp á stærra flæðisvið og stöðugan þrýstingsútgang til að útvega vökva fyrir margar blautar vinnslulínur samtímis, sem leysir vandamálin með ófullnægjandi lofthæð og róttækum flæðissveiflu venjulegra seguldæla við miklar-flæðisskilyrði.
3. Mikið-álag, fulllokað seguldrifskerfi
Þessi seguldæla fyrir hálfleiðara efni er búin uppfærðum styrktum segultengihlutum fyrir meiri toggetu. Ásamt fullkomlega lokuðu rykheldu og-tæringarvörn, viðheldur það langtíma-samfelldri-álagsvirkni og einangrar loftbornar agnir og ætandi gas á ryk-lausum verkstæðum til að vernda kjarnaflutningshluta.
4. Stórt-rúmtak dautt-rými-laust holrými
Stækkað hola HD100R samþykkir bjartsýni slétt umskipti án vökvasöfnunar dauðra horna. Há-gljáandi innri veggurinn gerir hraðari og ítarlegri þrif á-línu. Tilvalið fyrir aðra afhendingu ýmissa hálfleiðaraefna, forðast algjörlega hættu á krossmengun.-
5. Háþrýstingsþolin uppbygging fyrir flóknar leiðslur
Dæluhúsið og tengihlutarnir eru styrktir fyrir háþrýsting, með betri þrýstiþol en sambærilegar gerðir. Það lagar sig að flóknum leiðslum, langa-afgreiðslu og sveiflukenndum leiðsluþrýstingi í hálfleiðaraverkstæðum og starfar stöðugt án leka eða aflögunar.
Dæmigert forrit
● Langa-flutningur á há-þéttni flúorsýru fyrir oblátaætingu
Samþjappað -mótað þykkt PTFE efni úr HD100R þolir -langtíma gegndræpi flúorsýru, forðast skeljarflögnun og bólgnað við langa-fjarlægð háþrýstingsflutninga.
● Miðstýrt vökvaframboð fyrir samhliða hálfleiðara blautferli framleiðslulína
Þessi hálfleiðara iðnaðarseguldæla er búin sérstakri vökvaeiningu með háu-flæði og er með afar litla dempun á afhendingarhaus og flæðishraða. Það getur stöðugt útvegað vökva fyrir meira en 3 hreinsunar- og etsunarframleiðslulínur sjálfstætt og kemur í stað samhliða dreifingar á mörgum litlum -flæðis seguldælum.
● Flutningur í hringrás fjölbreyttra sýru-basaefna fyrir hálfleiðara
Með stækkuðu sléttu dauðu-rými-lausu holrúmi og há-gljáandi innri vegg, skilur það engar efnaleifar eftir netþrif, kemur rækilega í veg fyrir kross-mengun við skiptis afhendingu ætingarlausna og strípur, og aðlagast tíðum vinnuskilyrðum sem skiptast á efnaskiptum.
Mál (mm)
|
Fyrirmynd |
W |
H |
L |
a |
b |
c |
h |
e |
f |
g |
i |
|
HD100R |
156 |
174 |
335 |
70 |
100 |
110 |
74 |
65.5 |
44 |
147 |
4-9*27 |
Algengar spurningar
Sp.: Við langa-flutninga á efnavökva, munu bakvatnsáhrif frá leiðslum valda dælaleka og aflögun vegna ófullnægjandi þrýstingsþols?
A: Engin þrýstingsbilun mun eiga sér stað með venjulegu leiðsluskipulagi. Þrýstingap er óhjákvæmilega fyrir hendi í -löngum hálfleiðara ætingarvökvaleiðslum og líklegt er að bakvatnsáhrif eigi sér stað við lokun búnaðar og stjórnun kvistþrýstings. Sem hálfleiðara iðnaðarseguldæla notar HD100R markvissa þrýstingsstyrkingu fyrir langa-vinnuskilyrði í bakvatni. Koltrefjastyrktar fóðringar eru felldar inn í samskeyti dæluhússflansa og dæluloka, með nafnþrýstingsþol allt að 1,6MPa. Það getur vegið upp á móti kraftmiklum bakvatnspúlsþrýstingi í leiðslum. Á sama tíma hefur innbyggða mótaða PTFE hlífin engin skeytibil, sem kemur í veg fyrir sprungur í hlífinni og vökvaleka og styður við flutning hálfleiðara efna yfir 100 metra.
Sp.: Mun há-flæðisflutningshamur HD100R draga úr skilvirkni vökva?
A: Engin vökvavirknideyfing á sér stað innan hás-flæðisviðs. HD100R er útbúinn með sérsniðnum breiðum-kafla og áfram-hallandi lágri-hverfuhjóli, HD100R fínstillir sveigjusamsvörun flæðisbrautar. Vökvanýting þess helst stöðugt yfir 78% í öllum metnum há-vinnuskilyrðum án þess að skilvirkni minnkar með hækkandi flæðishraða og tryggir jafnan greinarþrýsting fyrir samhliða fjöl-vökvaflæði.
Sp.: Hvar á að kaupa HD100Rhálfleiðara seguldæla?
A: Þú getur haft samband við söluteymi okkar með tölvupóstijuicy@sxhono.com.cntil að fá vörulýsingar, tilboð og ráðleggingar um val. Ef þú hefur sérstakar umsóknarkröfur getum við einnig veitt þér sérsniðnar vökvaflutningslausnir.
maq per Qat: hálfleiðara seguldæla, Kína hálfleiðara seguldæla framleiðendur, birgjar, verksmiðju
